产品概述

高温硫酸加热器是一款创新且强大的加热解决方案，专为在高温下进行硫酸的精确加热和维持而设计。该加热器满足工业应用中硫酸需保持高温以提高工艺效率和性能的严格要求，适用于SPM和光刻胶去除等工艺。

产品信息 功率：3.5kW-12kW，可根据客户要求定制。 电压：200-380V，50/60Hz 精度：±1℃

产品优势

1. 高温性能：能够在高温下维持硫酸，确保一致的性能和工艺效率。

2. 耐腐蚀结构：采用耐硫酸腐蚀的材料制成，确保使用寿命和可靠运行。

3. 精准控温：配备先进的控温系统，对加热过程进行精确监控和调节。

4. 由于采用薄膜加热技术，升温时间快几秒钟即可达到设定要求。

5. 安全措施：具有多项安全功能，确保安全运行，防止超温、超压等潜在危险。

6. 易于维护：专为**限度地减少维护和易于维修而设计，确保连续运行并**限度地减少停机时间。

产品应用

1. 28nm及以下先进工艺制程：专为满足 28nm、14nm 及更先进集成电路制造工艺中，对交叉污染控制、流体纯度及控温精度（±1°C）的极高要求而设计。

2. SPM清洗工艺：用于超纯硫酸（H₂SO₄）或 SPM 混合液的在线、快速加热。在高吞吐量的单片清洗机或槽式清洗机中，确保化学品到达晶圆表面时达到**反应温度。

3. 高效光刻胶去除：在离子注入或刻蚀工艺后，利用高温强氧化性的硫酸溶液，彻底清除固化、变性的高难度光刻胶残留物。