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键合加热盘
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键合加热盘
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产品参数
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结合碳化硅陶瓷盘、铠装加热器与氧化锆隔热板,冷却盘,提供高效稳定的加热与冷却解决方案。
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加热范围:真空环境常温到550℃
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加热速度:升降温每分钟30℃。
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工作温度:500℃
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承压高:耐压10吨。
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加热盘尺寸:8-12寸
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安全性能:温度保护开关,PID控制
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表面精度:表面尺寸0.002以内
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温度精度:表面温度±1%
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