产品概述

应用于先进工艺单片磷酸设备。产品配备四圈单独控制，确保对不同区域的精准加热。具备12寸直径，工作温度可达280℃。电压为208V，功率高达4.5kW，精度高达±5℃。

产品优势

1. 无惧动态热失散，专攻“深孔清洗”：在进行高长径比的深孔清洗时，药液进入微观结构的物理化学反应对温度极其敏感。4.5kW 的大功率设计可提供极快的升温速率与实时热补偿，确保药液在深孔底部的反应活性，彻底清除微小残留物。

2. 四圈多温区精细化调节：针对 12 寸大面积晶圆在单片式旋转加工中出现的中心与边缘散热不均问题，加热盘采用四圈独立控制。工程师可根据实际机台内流体分布，单独微调各区域加热输出，将整体温差锁死在 ±5°C 的高标准工艺要求内。

3. 高可靠性与极端环境耐受度：专门针对高温酸雾（如热磷酸、SPM 等）环境进行了特殊的结构密封与抗腐蚀设计。接线端子与加热元件具备**的电绝缘性能与化学惰性，大幅降低因腐蚀导致的机台停机风险。

产品应用

1. 先进制程深孔/盲孔清洗： 用于移除刻蚀后的聚合物残留，保证底层接触面的洁净度。

2. 单片高温磷酸刻蚀： 用于氮化硅（Si₃N₄）层的高选择比去除。

3. 高温化学品晶圆清洗： 适用于前道酸性高温清洗机台，提高缺陷去除率。