产品介绍

SEZ搅拌加热器是一款支持进行搅拌加热水温,液位检测,温度检测的独立可控恒温系统,根据用户需求对液体进行温度,液位检测,

提供恒定的温度控制(Tmax:65℃)的热水。

基本信息 额定功率：3100W±10% 电源规格：AC230V/50Hz 耐压测试：AC1500V/1min 产品材质：SUS316，PVDF 加热方式：铠装发热管加热 常态工作温度：65℃ **加热温度：85℃ 控温方式：温度控制器控制，温度可调节 控温范围：数显温控范围-55℃~120℃ 可加热介质：搅拌加热水 外形尺寸（L×W×H）：200×200×447.5±3mm

产品优势

三位一体，系统集成度高：一台设备同时集成了铠装发热管、温度传感器（温控器）与液位检测开关。无需客户额外配置外围传感器，到手即可直接独立工作。

全方位的防干烧安全保障：内置的液位检测开关与控温系统联动，实时监控水箱内液位高低，从根本上杜绝了因缺水或低液位导致的干烧、火灾隐患。

针对性的高性价比材料配比：接触流体部分采用 SUS316不锈钢 + PVDF 材质。在常态 65℃（最高 85℃）的工况下，既具备优异的抗弱酸、耐温性能，又大幅降低了整机综合成本。

嵌入式免维护结构设计：自带方形PVDF法兰保护罩，采用垂直插入式安装，密封性**。铠装发热管机械强度高、耐冲刷，专为半导体工厂24小时连续运行、低维护成本的刚需而设计。

产品应用

核心应用SEZ单片晶圆清洗/刻蚀机台配套：针对SEZ等湿法机台的内部工艺槽、循环热水箱进行配套替换或OEM集成。

工艺辅助热水/弱酸供液：主要用于晶圆背面刻蚀、去边缘胶等工艺后续冲洗阶段的热水快速加热与恒温维持。

槽内浸入式直接加热：适用于半导体湿法设备底层，需对水或低浓度带酸溶液进行搅拌、混匀并恒温加热的场景。