实钧芯超纯水加热器是一款***的高纯水加热系统，旨在提供**的性能和精度。该系统专为硫酸 （H2SO4）、磷酸 （H3PO4）、盐酸 （HCl）、纯水和其他与石英相容的化学品而设计，可促进高纯度材料在极端操作中的广泛接受，同时优化性能和可靠性。管道组件采用高纯度石英，辅以高纯度PFA管和连接器。加热元件采用卤素灯/碳灯，确保在使用过程中不会受到金属污染。其电子控制系统根据水流变化自动调节功率，视觉显示和听觉警报为用户提供**安全性。采用光滑的白色面板和紧凑的尺寸，不仅高效，而且美观。

产品优势：

1.加热装置和材料

- 加热腔采用高纯度美国石英材料，台湾本地加工。

- 管道和阀门采用来自日本和韩国知名品牌的高纯度PFA材料。

2.高性能功率调节

- 采用台湾**品牌元件，实现精确的双极PID控制。

3.联锁功能（以96 kW为例）

- 紧急停止：确保控制电源关闭

- 石英腔加热柜门：打开时报警并关闭

- 最小流量：流量低于 5L/min 时发出警报并关闭

- 防干烧：防止干热

- 高温报警：95°C时报警并关闭

- 液体泄漏传感器：及时报警和关闭

- 水位报警：确保水位监测

- 加热器短路：提示报警

- 高流量：流量超过 50L/min 时发出警报

- 低流量：流量低于 10L/min 时发出警报

- 漏电保护：激活报警提示

4.功能模块

- 主控制屏幕：轻松浏览各种功能。

- 故障指示屏幕：随时了解警报及其状态。

- I/O表：监控输入/输出信号状态。

- 参数屏幕：访问和调整基本设置。

- 历史数据记录：存储和分析历史数据。

- 每个加热器的电流：观察单个加热器的性能。

5.安全**

- 加热元件和水的双重分离以及一系列保护功能，包括缺水保护、防止干热保护、漏电保护、超温保护和自动泄压。

- 通过用户友好的触摸屏实时监控设备状态。

6.产品亮点

- 采用先进的PID技术和PLC的逻辑操作进行专业控制。它以非凡的精度保持水温，在± 1.0 ℃ 的公差范围内. 该系统采用创新的石英加热元件，确保通过光辐射进行热传递，而不与液体介质接触，确保过程无污染。

应用工序：

1.湿法清洗：在单片及槽式清洗制程中，用于去除表面污染，确保晶圆清洁。
2.光刻工艺：提供恒温超纯水以清洗硅片，保证光刻胶性能。
3.蚀刻工艺：在化学或等离子体刻蚀中，通过温控超纯水调节刻蚀过程，以提高精度和均匀性。
4.化学机械研磨（CMP）：通过调节研磨液的温度，影响研磨速率和均匀性。
5.晶体生长与晶圆切割：在晶体生长阶段进行温度调节，以及在晶圆切割中去除碎屑和热量。

技术规格： - 功率范围：24 kW、48 kW、72 kW、96 kW、144 kW 可选 - 电压范围：AC 200 V、208 V、220 V、380 V、480 V，三相 可选 - 温度范围：常温-85℃ - 流量范围：6 L/min、12 L/min、18 L/min、24 L/min、36 L/min 可选 - 加热系统：卤素灯管加热 - 材质：加热腔材质为美国高纯石英、管道材质为PFA - 温度控制系统：精密PID控制 - 通信：以太网 - 储存温度和湿度：温度（0-50℃）、湿度（20-85%RH）无冷凝或结冰现象 - 工作环境温度和湿度：温度（15-30℃）、湿度（35-85%）无冷凝现象 - 允许压力：纯水**0.4MPa，压缩空气**0.7MPa（手动调节阀可调） - 环境：保持无毒无尘的工作空间 - 多语言界面：支持简体中文、繁体中文、英文 - 自诊断功能：轻松监控和处理警报 - 高级接地故障断路器 （GFCI） 系统：确保增强的安全性 - 单泄压阀：确保快速泄压 - 漏电保护开关：增强防漏安全性 - 防漏

型号解析

选型表

苏州实钧芯-半导体级超纯水加热器-SEMI S2 认证

苏州实钧芯-半导体级超纯水加热器-CE认证

苏州实钧芯-半导体级超纯水加热器-软件著作权

苏州实钧芯-半导体级超纯水加热器-SGS金属检测报告