大流量高温气体在线加热器 High-Flow Gas Inline Heater

实测能力：1200 L/min 气体加热至 180 °C

工业级在线气体加热器，410 V 三相 6 kW 设计，实测支持 ≥ 1200 L/min 气体连续加热至 180 °C，具备独立温控与安全保护

1. 产品概述（Overview）

本产品为一款工业级大流量在线气体加热器，适用于半导体、化工及洁净工艺中对连续气体加热、稳定控温及高可靠性的应用场景。

采用 SUS316L 金属流道 + 均匀导热加热模块 结构，在较低装机功率下实现高效热利用，支持长期稳定运行。

2. 主要性能（Key Performance）

3. 电气与加热参数（Electrical & Heating）

控制与保护回路分离设计，提高系统安全等级。

4. 气体通道与接口（Flow Path & Ports）

5. 结构与外壳（Mechanical & Enclosure）

6. 安全与可靠性（Safety & Reliability）

● 控制与超温保护双回路设计

● 标配 K 型热电偶用于控制器采样与反馈；

● 机械式超温开关作为二次安全保护（300 °C），在异常情况下切断加热回路。

● 禁止干烧保护逻辑

● 降低局部热点与热疲劳风险

● 典型工业工况使用寿命：≥12 个月

7. 质保与服务（Warranty & Service）

● 质保期：12 个月

● 质保期内因产品质量问题：免费更换

● 更换后质保期重新计算

● 质保期后提供：

○ 备件

○ 易损件

○ 技术支持与维护服务

8. 使用注意事项（Operation Notes）

● 启动前须确保气体流量正常

● 严禁无气流状态下通电运行

● 搬运与安装过程中避免冲击与拉扯接口

9. 典型应用（Typical Applications）

适用于工艺气体预热、反应前置加热、流量稳定温控等工业应用场合；特别适合如下工况：

● 高流量气体加热（如 N₂、He、NH₃ 等）

● 半导体制造、湿法工艺前处理

● 需要精确温度控制的连续在线加热工艺